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本发明公开了一种抗蚀剂组合物，包括式（1）所示的第一光产酸剂，基础树脂、含氟树脂、淬灭剂和0~1.0质量份的式（2）所示的第二光产酸剂，并公开了图案形成方法，最终得到了改善的感光度和LWR的抗蚀剂图案。