中国工程物理研究院电子工程研究所

本发明涉及半导体传感器制造技术领域，具体而言，涉及一种全金刚石压力传感器、制备方法及动态温度补偿方法，包括：通过在全金刚石敏感膜片的四周无应力区原位集成蛇形片上铂电阻温度传感器，对其在25‑500℃内标定并通过最小二乘法拟合得到温度与阻值的第一对应关系；在不同温度下施加标准压力，测量由硼掺杂金刚石压敏电阻构成的电桥输出电压；计算不同温度下的零点输出和灵敏度，并分别进行二次多项式拟合得到零点温漂和灵敏度温度拟合系数；由信号处理芯片基于所述第一对应关系和拟合系数对原始电信号进行实时温度补偿。本发明实现了全量程内高温温漂在0.02%FS/℃以内的超高精度压力测量。

本申请属于雷达信号处理技术领域，涉及一种基于关注区逐步收缩与迭代重加权岭回归的雷达高速机动目标距离变化历程估计方法，其中方法包括：首先对离散采样、正交解调与脉冲压缩处理后的雷达回波信号沿慢时间方向进行短时滑窗积累实现回波增强；然后采用一种结合关注区内距离像关键特征重提取、迭代重加权岭回归、正则化参数逐步调整策略的目标径向距离变化轨迹估计算法估计目标距离变化历程；最后利用目标距离变化历程估计量对雷达回波信号进行距离徙动校正，并基于距离徙动校正后目标回波能量在距离维聚集的特性校验估计量的有效性。本申请的方法能以较小计算代价显著提升雷达估计高速机动目标（例如高速蛇形机动目标）距离变化历程的鲁棒性。