无锡卓海科技股份有限公司

本申请涉及一种晶圆检测系统和方法。包括：光源模块用于输出连续的泵浦光；转换模块包括非线性晶体，转换模块用于通过非线性晶体将泵浦光转换为闲频光和信号光；闲频光为中红外光，用于照射待测晶圆；反射模块用于反射信号光和泵浦光，以进入转换模块；转换模块还用于通过非线性晶体将反射的泵浦光转换为新的信号光，新的信号光与发射的信号光发生信号干涉；探测器用于在探测到干涉信号的情况下，将干涉信号转换为探测数据；工控机与光源模块、运动台和探测器电连接，用于控制光源模块输出连续的泵浦光，控制运动台运动，并根据探测数据，确定待测晶圆的晶圆检测结果。具有高分辨率、低成本的特点，满足半导体先进制程需求。

本发明公开了一种信号转换器及其控制方法，信号转换器包括控制模块，以及与控制模块电连接的信号输入模块、信号输出模块和通信模块；通信模块还与水冷系统通信连接；信号输出模块与高压控制器电连接；信号输入模块接收输入信号；控制模块接收输入信号，根据输入信号确定水冷系统的启停控制方式，在水冷系统启动时根据输入信号和水冷系统通过通信模块输入的运行信号，在运行信号和/或输入信号异常时产生对应的预警标志位，根据预警标志位产生与预警标志位对应的控制信号至信号输出模块；信号输出模块接收控制模块的控制信号，并根据控制信号输出通断信号至高压控制器。利用上述结构，实现了非原装水冷系统与高压控制器之间的信号匹配和正常通信。