№ CN121377821A发明专利
有效石墨制品及其制备方法
本申请涉及一种石墨制品及其制备方法。石墨制品包括石墨基材和依次设于石墨基材至少一表面的第一涂层、第二涂层和第三涂层,第一涂层、第二涂层和第三涂层均包括钽铪基碳化物,第一涂层中钽元素的质量占比大于第二涂层中钽元素的质量占比,第二涂层中钽元素的质量占比大于第三涂层中钽元素的质量占比,第一涂层中铪元素的质量占比小于第二涂层中铪元素的质量占比,第二涂层中铪元素的质量占比小于第三涂层中铪元素的质量占比,第一涂层还包括热解碳。该石墨制品的热循环性能较好。
❖苏州铠欣半导体科技有限公司贺鹏博; 李亚林§ 2/10 权利要求C04B 41/89 (2006.01), C30B 35/00 (2006.01), C30B 25/14 (2006.01) +1