№ CN121380876A发明专利
有效高硬度高耐磨表面精密涂层制备方法
本发明高硬度高耐磨表面精密涂层制备法,流程:对应设置快捷展开式挂具承载结构、上部挂设模组;产品挂设时,呈12‑18°的倾斜状;推入涂层制备设备进行高速涂层制备;涂层制备设备内进行加热至150°;炉体内填充氩气0.5Pa,离子源模组进行离子刻蚀;磁性溅射模块进行铬打底;磁性溅射模块、磁过滤电弧进行铬及碳化钨混镀;磁过滤电弧进行碳化钨镀膜;磁性溅射模块进行铬层镀膜;磁性溅射模块、磁过滤电弧进行铬及碳化钨混镀;磁过滤电弧进行碳化钨镀膜;加强外层制备:炉体内填充C2H2气体1Pa,磁控线圈5通直流电5A,偏压600V,磁性溅射模块、磁过滤电弧组进行铬及碳化钨混度,最终形成厚度20μ的高硬度高耐磨表面精密涂层。
❖苏州德迈纳米科技有限公司陈辉; 胡小马§ 1/9 权利要求C23C 14/50 (2006.01), C23C 14/35 (2006.01), C23C 14/02 (2006.01) +213