№ CN121320876A发明专利
有效一种具有细柱状晶结构的Cr基防护涂层、其制备方法及应用
本发明涉及防护涂层领域,具体涉及一种具有细柱状晶结构的Cr基防护涂层、其制备方法及应用。本发明通过设计CrXM组分(X=Al/Si,M=Y/Ce/La/Nd,0≤a≤10,0.1≤b≤8.5),通过控制真空度、基体温度并采用中频与射频电源协同溅射,获得柱状晶宽度5‑100nm的结构,晶界处弥散分布1‑50nm的M和/或M氧化物纳米颗粒。该结构致密无空隙,兼具优良抗辐照性、耐高温氧化性和结构完整性,适用于核燃料包壳管防护。
❖宁波杭州湾新材料研究院; 中国科学院宁波材料技术与工程研究所王敬武; 孟凡平; 葛芳芳; 黄庆§ 3/10 权利要求C23C 14/16 (2006.01), C23C 14/35 (2006.01), G21C 3/07 (2006.01) +1