原始名称记载: 深圳市中图仪器股份有限公司

本申请涉及一种循环测量方法和影像测量仪。所述方法包括：确定多个所述待测工件的摆正坐标系；基于所述摆正坐标系以及所述预设排布方式，确定所述扫描装置的扫描路径；确定第一待测工件的工件坐标系以及第一待测工件的特征测量区域；确定第一待测工件的工件坐标系以及第一待测工件的特征测量区域之间的相对位置关系；按照扫描路径依次控制扫描装置获取包括各待测工件的特征测量区域的扫描图像，并分别于各待测工件的扫描图像中根据相对位置关系确定各图像中的特征测量区域，以得到各待测工件的扫描结果。采用本方法能够提高按照预设排布方式进行排布的多个待测工件的测量效率。

本申请涉及光学检测技术领域，具体涉及一种高精度防撞装置和检测设备，高精度防撞装置包括固定件、移动件和触发组件，固定件安装固定在检测头上，移动件用于与物镜连接，移动件在第一方向上通过导轨可往复移动地连接于固定件上，触发组件包括第一导电件、第二导电件和控制模块，第一导电件和第二导电件中一者位于固定件上，另一者位于移动件上，第一导电件与第二导电件能够在移动件朝向固定件移动过程中导电连通，这样能够在第一导电件与第二导电件导电连通时触发控制模块，由控制模块控制检测头停止移动，或者由控制模块控制检测头朝向相反的方向移动以使物镜远离被测产品，能够降低物镜损坏的概率。

本申请涉及扫描电镜技术领域，更具体的说是涉及一种扫描电镜，包括安装架、电镜主体、抽真空机构、转接头、减振机构以及真空管结构，电镜主体包括镜筒和样品仓，抽真空机构用于对镜筒和样品仓同步抽真空；减振机构设置于安装架和电镜主体之间；转接头包括转接管、第一接头和第二接头，第一接头和第二接头设置于转接管的两侧；真空管结构包括第一柔性管、第一刚性管、第二柔性管和第二刚性管，第一柔性管和第二柔性管竖直放置。由于柔性管和抽真空机构连接，刚性管和电镜主体连接，对称的柔性管能够平衡抽真空过程中的拉力，以减少该拉力对电镜主体的影响，从而降低了对图像质量的影响，有效保证了扫描电镜检测的准确性和图像的清晰度。

本公开提供一种用于光学跟踪系统的变焦装置，包括基座、配置为调节焦距的镜头模组、固定于基座的导杆、套设于导杆且配置为装配镜头模组的至少部分的滑架、以及驱动滑架运动的驱动结构，其中，基座包括多个具有定位孔的端部，驱动结构包括驱动部、设置在驱动部的端部的轴承、以及固定轴承的螺纹塞和固定套，螺纹塞和固定套设置于不同的定位孔并与轴承抵接。根据本公开，能够提供一种提高控制精度的用于光学跟踪系统的变焦装置。

本申请涉及一种多层匹配测量方法及影像测量设备。所述方法包括：基于模板工件的工件图像，确定工件匹配模型、至少一个局部匹配模型、至少一个第一特征测量模型以及各局部匹配模型与各第一特征测量模型之间的第一相对位置关系；基于扫描装置对载物台的第一选定区域进行拍摄得到的第一待测量图像以及工件匹配模型，在第一待测量图像中确定至少一个工件匹配区域；基于各工件匹配区域以及局部匹配模型，确定与各工件匹配区域对应的局部匹配区域；基于与各工件匹配区域对应的局部匹配区域以及第一相对位置关系的各待测工件的第一特征测量区域，确定第一待测量图像中至少一个待测工件的测量结果。采用本方法能够提高测量结果的效率和准确度。

本申请涉及一种匹配测量方法及影像测量设备。所述方法包括：利用扫描装置获取第一待测工件的扫描图像，并于第一待测工件的扫描图像中确定图像匹配模板以及与图像匹配模板关联的第一特征测量模板；确定图像匹配模板以及第一特征测量模板之间的第一相对位置关系；基于多个待测工件的位置，控制扫描装置获取目标待测工件的扫描图像，并基于图像匹配模板在目标待测工件的扫描图像中确定图像匹配区域；基于目标待测工件的扫描图像中的图像匹配区域以及第一相对位置关系，于目标待测工件中确定第一特征测量区域；基于第一特征测量区域得到目标待测工件的测量结果。采用本方法能够提高得到的测量结果的准确度。

本公开描述一种基于多模板结合的测量系统，基于与待测物相匹配的多个模板对待测物进行测量的测量系统，测量系统配置为创建用于测量待测物的至少一个测量面的多个第一模板，基于多个第一模板创建第二模板，并基于多个第一模板和第二模板创建配置为对待测物进行测量的结合模板；其中，第一模板包括对待测物进行测量时的测量条件、与待测物相匹配的至少一个几何特征；第二模板包括配置为关联各个第一模板中不完整的几何特征的运算尺寸。根据本公开，能够提供一种在测量待测物时能够提高测量效率的测量系统。

本公开描述用于测量系统的结合模板的创建方法及测量系统，测量系统基于结合模板对待测物进行测量，创建方法包括：创建用于测量待测物的至少一个测量面的多个第一模板，第一模板包括对待测物进行测量时的测量条件、与待测物相匹配的至少一个几何特征；创建用于测量待测物的至少一个测量面的第二模板，第二模板基于跨越特征在多个第一模板之间的运算关系而获得，跨越特征为单个第一模板中不完整的几何特征；基于多个第一模板和第二模板获得结合模板。根据本公开，能够提供一种在测量待测物时能够提高测量效率的创建方法及测量系统。

本申请涉及光学检测技术领域，具体涉及一种防撞模块和光学检测装置，防撞模块包括固定件、移动件和触发组件，固定件安装固定在检测头上，移动件用于与物镜连接，移动件在第一方向上通过导轨可往复移动地连接于固定件上，触发组件包括第一导电件、第二导电件和控制模块，第一导电件和第二导电件中一者位于固定件上，另一者位于移动件上，第一导电件与第二导电件能够在移动件朝向固定件移动过程中导电连通，这样能够在第一导电件与第二导电件导电连通时触发控制模块，由控制模块控制检测头停止移动，或者由控制模块控制检测头朝向相反的方向移动以使物镜远离被测产品，能够降低物镜损坏的概率。

本公开提供一种用于光学测量仪器的变焦模组，包括基座和配置为调节焦距的镜头模组，镜头模组包括固定于基座的固定镜组和可相对于基座运动的可动镜组，变焦模组还包括配置为将可动镜组装配于基座的连接结构、以及驱动可动镜组运动的驱动结构，连接结构包括固定于基座的导杆、以及套设于导杆且配置为装配可动镜组的滑架，驱动结构包括驱动部和与驱动部耦合的传动组件，传动组件以可沿预设平面运动的方式活动连接于滑架，预设平面正交于导杆的轴向方向。根据本公开，能够提供一种提高控制精度的用于光学测量仪器的变焦模组。