№ CN121314496A发明专利
有效一种三氯氢硅的生产系统和方法
本发明公开了一种三氯氢硅的生产系统和方法,所述系统包括反应单元、分离单元和再生单元,所述反应单元包含至少一个固定床反应器,分离单元包含一个主精馏塔,再生单元包括侧线采出泵、再生塔。本发明通过在主精馏塔的提馏段设置侧线采出口,并将采出的重组分富集物流引至独立的再生塔进行体外再生处理,从根本上打破了重组分在主循环回路中的无限累积,实现三氯氢硅生产的长周期、高稳定性运行。
❖镇江晶醇科技有限公司罗华勋; 赵霞; 徐卉§ 2/9 权利要求B01J 19/00 (2006.01), C01B 33/107 (2006.01), B01J 8/02 (2006.01) +4