散热材料、散热部件、静电吸盘及散热材料的制造方法
提供一种散热部件用的散热材料、散热部件、含有该散热部件的静电吸盘、以及该散热材料的制造方法,适合在施加较大热量输入的处理工序中使用。在散热材料中,Mo相(1)与Ti相(2)共存,含有3原子%以上且50原子%以下的Ti,余量是Mo。另外,散热材料的制造方法具有如下工序:混合含有Mo的粉末和含有Ti的粉末,得到混合物的混合工序;烧结该混合物的烧结工序。
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