№ KR1020250180118A发明专利
审中기판 처리장치, 기판 처리방법, 기판의 제조방법, 매체에 기억된 제어 프로그램, 기록매체
❖캐논 가부시끼가이샤이마쿠라 야스타카; 키시모토 카츠시Dec 31, 2025H1L 21/67, H1L 21/677, H1L 21/6818
APPLICANTS
原始名称记载: 캐논 가부시끼가이샤
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