南京福沃达智能科技有限公司

本申请涉及芯片基片存取设备技术领域，提供了一种洁净式芯片基板自动化存储立体智能仓，包括：封闭式仓体，封闭式仓体包括多个储料格，封闭式仓体的内部形成存取料机构活动空间，储料格具有格口，封闭式仓体上还开设有取料口；可活动地设置于封闭式仓体的取料抽屉，取料抽屉能够在关闭位置和开启位置之间运动；设置在存取料机构活动空间内的存取料机构，存取料机构用于将任一储料格中的芯片基板提取并释放至处于关闭位置的取料抽屉上，以及用于将处于关闭位置的取料抽屉上的芯片基板提取并释放至任一储料格中，该洁净式芯片基板自动化存储立体智能仓能够兼顾存储空间的洁净度保持与取放操作的便捷性、高效性。

本申请涉及半导体制造的技术领域，尤其是涉及基于优先级算法的芯片基板动态分拣与缓存管控系统及方法，其包括：构建任务池，并提取任务池中多个目标基板的特征集与预设核验数据；建立拓扑图，将载具位置、对接位及预设的隔离平台映射为包含状态字的拓扑节点；更新各目标基板的驻留时长，并计算时效比；得出各目标基板的优先权重；生成寻址序列；依据当前的寻址序列，定位最高优先级对应的拓扑节点，并对处于最高优先级对应的拓扑节点处的目标基板执行身份鉴权；当身份鉴权通过时，输出移载指令以控制物理执行机构移载对应的目标基板，并更新对应的拓扑节点中的状态字。本申请能够解决临期基板排队死锁问题，实现防止超时报废。