一种基于工业元宇宙的虚拟操作培训方法、系统、设备及介质
本发明涉及半导体制造技术领域,具体地说,涉及一种基于工业元宇宙的虚拟操作培训方法、系统、设备及介质;该方法不再仅依据认知负荷调节难度,而是将学员动作偏差、认知负荷和数字孪生工艺状态残差映射为反事实干预变量,在设备因果故障图上生成与当前薄弱操作强相关且符合工艺约束的故障链;并通过双时钟同步、状态预测、事件锁存和残差回灌,生成每一仿真片段的状态一致性证书,保证视觉运动、工艺参数和触觉输出来自同一工艺状态轨迹;将操作结果分解为动作轨迹偏差、触觉施力偏差、工艺状态残差和认知负荷波动四类可归因指标,避免仅以最终评分或专家轨迹相似度评价学员。