原始名称记载: 株式会社特殊陶业材料

本发明提供能适当地设定附着于陶瓷生片的脱模剂的量的陶瓷基板的制造方法。根据本发明的实施方式，陶瓷基板的制造方法具备下述工序：附着工序，使脱模剂附着于具有第一面和第二面的陶瓷生片的两面；以及烧结工序，将附着有所述脱模剂的多个所述陶瓷生片重叠并烧结。在所述附着工序之后的所述陶瓷生片中，所述脱模剂向所述第一面的附着率和所述脱模剂向所述第二面的附着率分别为5%以上且30%以下。所述脱模剂向所述第一面的所述附着率与所述脱模剂向所述第二面的所述附着率之差为20%以下。

本发明涉及良好地层叠生片而制造的氮化硅基板及氮化硅基板的制造方法。实施方式的氮化硅基板在光学显微镜的暗视野中观察截面的情况下包括主层和比主层暗的中间层。主层与中间层之间的色差为0.1以上。在厚度方向上m+1个主层和m个中间层交替排列。将从一个面起的第n个(n为整数)主层与第n个中间层之间的色差设为CDna。将第n+1个主层与第n个中间层之间的色差设为CDnb。在该情况下，在n为1以上且m以下的任意值时都满足第一条件及第二条件。第一条件为，在与截面平行且与厚度方向垂直的第一方向上，0.1≤CDna≤1.4的区域相连地存在100μm以上。第二条件为在第一方向上0.1≤CDnb≤1.4的区域相连地存在100μm以上。