用于空气中的气体检测的传感器
本公开涉及用于空气中的气体检测的传感器。一种用于检测空气中的目标气体的微机电(MEMS)传感器具有限定第一腔的主体,所述第一腔被埋置在所述主体中并且与所述传感器外部的环境流体连通,以便允许从所述外部环境到所述第一腔中的所述空气流,所述主体包括面向所述第一腔的第一框架部分。第一悬挂质量块被悬挂在所述第一腔中,并且包括被配置为检测所述空气中的所述目标气体的至少一个热隔离金属氧化物半导体(TMOS)晶体管和被配置为加热所述第一悬挂质量块的至少一个加热器元件。第一弹性组在所述第一腔中在所述第一悬挂质量块和所述第一框架部分之间延伸,所述第一弹性组被配置为将所述第一悬挂质量块电耦合至所述第一框架部分。