飞测思凯浦（上海）半导体科技有限公司

本申请公开了一种面向晶圆缺陷检测的任务调度方法及相关装置，在获取针对目标晶圆图像的缺陷检测任务后，将目标晶圆图像切分为多个固定规格的基础图像切片，并将多个基础图像切片存入公共任务队列，响应于与目标图形处理器对应的目标进程发送任务申领请求，获取目标图形处理器的当前运行状态，并根据该当前运行状态确定目标图形处理器本次申领对应的目标切片数量，由此，减少其因一次接收过多基础图像切片而拖慢整体检测进度的可能性，在降低图形处理器空闲等待的同时减少频繁任务分发带来的调度开销，提高晶圆缺陷检测任务的整体处理效率。