靖江佳晟真空技术有限公司

本发明公开了一种带有加热模块的摆阀，属于半导体制造及真空设备技术领域，该带有加热模块的摆阀，包括阀体，所述阀体包括第一下壳体、第二下壳体、第一上壳体和第二上壳体，所述第一下壳体和第一上壳体之间设有供流体通过的阀口，所述阀口内侧固定安装有密封组件；所述密封组件下方设有密封阀板，所述第一下壳体和第一上壳体之间的后端固定安装有加热组件，用于密封阀板两侧流通介质的快速均匀加热；所述第一下壳体和第一上壳体的内侧均设有安装部。本发明通过设计集成式的加热组件，既可以实现快速拆装维护，同时其内部成对布置的加热棒可以对阀板两侧的流通介质进行快速均匀加热，从而将介质温度恒定控制在工艺要求的范围内。