加工组件载体、具有加工组件载体的布置结构以及方法
本发明涉及一种加工组件载体2,其中,加工组件载体2具有用于支承至少一个加工组件5的支承面4,该加工组件载体具有位置分辨的压力传感器6,其中,位置分辨的压力传感器6构造用于确定加工组件5在支承面4上的压力分布8。
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