Dossier

一种氧化铟钨粉体、蒸镀靶材及其制备方法

InventionActive

10Claims · 4 independent

§ Ⅰ

Dossier Overview

Applicant

中山智隆新材料科技有限公司

Inventor

王靓栎; 陈露; 黄健; 葛春桥

IPC Classification

C01G 41/00 (2006.01)C04B 35/01 (2006.01)C04B 35/622 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)C23C 14/08 (2006.01)H10F 77/20 (2025.01)H10F 77/30 (2025.01)

本发明属于氧化物靶材技术领域，具体涉及一种氧化铟钨粉体、蒸镀靶材及其制备方法。本发明方法以氧化铟为主体，掺杂固定比例的氧化钨粉末后烧结制备得氧化铟钨前驱体粉末，再混入特定比例氧化铟粉末，烧结得到具有元素稳定、性能优异且稳定的IWO蒸镀靶材。

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