一种防止开裂的氮化硅陶瓷排胶工艺

本发明公开了一种防止开裂的氮化硅陶瓷排胶工艺，属于陶瓷材料技术领域，通过在制备氮化硅陶瓷坯体的过程中加入自合成改性粘结剂和改性烧结助剂，能够降低残碳量，避免碳的存在生成杂质相，影响氮化硅陶瓷的纯度，使其制备的氮化硅陶瓷基板具备良好的力学强度和热导率，且致密度良好不易开裂；本发明的改性粘结剂能够逐步分解，形成均匀的孔隙，降低残碳量；本发明的改性烧结剂，具有惰性外壳，能够避免传统的氟化物在排胶阶段易与水分子反应生成HF气体，并且二氧化硅在排胶过程中能够与氮气生成氮化硅，避免了因流硅现象而导致粉体中硅原子的流失，进而降低粉体中氮化硅的含量，保证了氮化硅的纯度。