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一种电镀铜槽分阴极控制系统及其方法

发明专利有效
10权利要求 · 2 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

朱锦平; 韩友生; 董文泽; 方荣平; 袁晓波

IPC 分类

C25D 17/00 (2006.01)C25D 21/12 (2006.01)

本发明公开了一种电镀铜槽分阴极控制系统及其方法,涉及电镀控制技术领域。通过为每个阴极配置独立的整流控制单元,实现了分阴极精准独立控制,避免了多个产品共享电流源时的抢电流现象,有效解决了电镀均匀性差异大的问题,使每个产品能获得稳定、独立的电流供给,显著提升了电镀均匀性,保证了不同产品镀层质量的一致性。

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