一种应用于第三代半导体的微通道低碳相变制冷装置

本发明公开一种应用于碳化硅长晶系统的高效节能冷却装置，属于节能冷却设备技术领域，包括动载模块、相变强化冷凝器、换热模块和节流模块，结构相对简单，可靠性高，维护成本低，而且运行噪音和振动显著降低；压缩机是传统制冷机组最大的噪音和振动源，其高速压缩和电机运转产生巨大声噪和机械振动，而动载模块的运行非常平稳安静，噪音主要来自风扇和水泵，其声级远低于压缩机，极大地改善了安装环境的声学舒适度；同时该发明在制造成本方面具有优势，不仅动载模块的成本低于压缩机，而且由于整个系统对冷凝器的耐压要求降低，冷凝器可使用更轻薄、成本更低的材料。