一种带反射标靶的同轴激光干涉仪收发装置

本发明提供了一种带反射标靶的同轴激光干涉仪收发装置，其能在无需改变透镜焦距和发射光束孔径的前提下，控制平面镜对反射角度敏感的问题。其结构包括发射/接收波导、准直透镜、平面镜，发射/接收波导发出的光由准直透镜准直后射向平面镜，平面镜安装在被测量端用于反射接收到的光线，其还包括反射标靶，反射标靶上设有反射区，反射区位于发射/接收波导周围并且其形状和大小根据需要进行设置，发射/接收波导射向平面镜的光线由平面镜一次反射后再次经准直透镜射向反射标靶，并由反射区二次反射后经准直透镜再次射向平面镜，光线经平面镜三次反射后再次经准直透镜汇聚在发射/接收波导上，并被发射/接收波导接收。