一种用于激光干涉仪的安装误差的校准方法

本发明属于激光干涉仪校准技术领域，公开了一种用于激光干涉仪的安装误差的校准方法，包括以下步骤：环境准备：设置激光干涉仪校准环境的温度、湿度及振动参数；光学元件清洁：使用无水乙醇、镜头纸擦拭光学元件，具体包括激光发射器、接收器和反射镜；激光波长校准；直线度校准；阿贝误差计算；余弦误差计算；死程误差计算。本发明采用上述一种用于激光干涉仪的安装误差的校准方法，有效地提高了激光干涉仪的测量精度，测量结果更加稳定和准确，满足高精度数控机床对位移测量精度的严格要求；同时在复杂曲面测量场景下同样具有良好的通用性和有效性，能够有效提高激光干涉仪在复杂应用环境下的测量精度。