一种基于多方向高密度并行线阵结构光的高速三维共焦显微测量方法及系统

一种基于多方向高密度并行线阵结构光的高速三维共焦显微测量方法及系统，属于光学精密测量技术领域，解决点共焦对精密对准的苛刻依赖和固有的光效率低下等导致分辨力退化的问题。方法包括：将光源发出的照明光调制为周期性的多方向高密度并行线阵结构光场，投影至待测样品；进行轴向扫描与横向扫描，采用阵列探测器同步采集随轴向深度变化的图像序列；采用多方向高密度并行线阵像素重分配算法对采集到的图像序列进行解调，获得样品在不同轴向位置的高分辨力光学层析图像；采用配准算法对解调后的高分辨力光学层析图像进行扫描畸变校正，重建出样品的三维形貌。本发明适用于高速三维形貌测量场景。