金属掩膜板及其制造方法

本申请提供了一种金属掩膜板及其制造方法。该金属掩膜板的制造方法包括：基于母材的多个分区的长度偏差值、浪形值，分别确定母材的长度偏差变化量、浪形变化量；创建用于表征母材的长度偏差变化量、浪形变化量以及像素孔变化量之间的关联关系的关联模型；将母材的长度偏差变化量和浪形变化量代入关联模型，获得母材的像素孔变化量的预测值；在母材的像素孔变化量的预测值不小于目标阈值的情况下，调整金属掩膜板的制造工艺。本申请通过在金属掩膜板制造之前预测得到金属掩膜板的像素孔变化量的预测值，根据预测值调整标准制造工艺，使得基于调整后的制造工艺制造得到的金属掩膜板的像素孔变化量满足设计要求，能够提高产品一致性。