一种基于MCS的防腐蚀高压压力传感器芯体制作方法

本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种基于MCS的防腐蚀高压压力传感器芯体制作方法。包括：S1，将弹性体基板、融合材料和敏感材料联压制作弹性复合体；S2，对弹性复合体进行分割形成弹性体芯体的半成品；S3，通过塑性成型或切削加工工艺制备内衬；S4，在真空环境中将弹性体芯体加热至150℃‑400℃，将常温的内衬衬装入弹性体芯体的流体压力腔内，使感压膜片置于流体压力腔和弹性体芯体中间，再冷却至室温；S5，使压力传感器接头设置于流体压力腔的开口端，并与弹性体芯体及内衬进行焊接；S6，对压力传感器进行消除焊接应力处理后再对内衬进行预贴合处理，得到压力传感器芯体。以解决现有传感器芯体使用寿命短的问题。