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一种测试异质界面层裂的拉伸装置

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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

潘婷; 殷颖; 谢雨菲; 濮芯韵; 徐锦; 梁晶晶; 杨启国; 庄子悦; 刘雅; 陈艺

IPC 分类

G01N 3/08 (2006.01)G01N 3/02 (2006.01)G01N 3/04 (2006.01)

本发明涉及拉伸装置技术领域,具体为一种测试异质界面层裂的拉伸装置,包括拉伸装置,所述拉伸装置上安装有辅助组件,所述辅助组件包括有安装在拉伸装置内部的循环管,所述循环管的排气口连通有收集箱,所述收集箱与拉伸装置一侧固定连接,所述收集箱内部固定安装有气泵,所述气泵的输出端固定连接有第一管道,本发明的目的是:加热后的氮气在循环管内部循环,温度会通过循环管传递到拉伸装置内部,对拉伸装置内部升温,对拉伸装置内部的测试芯片与基板间的金属-聚合物加热,从而在冬季低温环境下,对测试芯片与基板间金属-聚合物界面进行加热,可显著提升拉伸检测的准确性、重复性和可靠性,同时避免低温导致的材料性能退化与设备故障。