一种基于激光干涉仪的温度循环下材料尺寸稳定性快速测量装置与测量方法

一种基于激光干涉仪的温度循环下材料尺寸稳定性快速测量装置与测量方法，属于材料的物理性质测定领域。目的是解决现有材料尺寸稳定性测量的测试效率低、测试系统结构复杂的问题。本发明基于激光干涉仪的温度循环下材料尺寸稳定性快速测量装置由冷热循环装置和超高精度尺寸测量装置构成；所述冷热循环装置由加热炉体和下置冷却箱构成；所述超高精度尺寸测量装置由基座、气浮直线导轨、固定光栅、可动光栅、激光干涉仪、数据采集系统和温控平台构成。本发明能够快速评价温度循环下材料尺寸稳定性的装置与测量方法，与传统采用热膨胀仪进行冷热循环评价尺寸稳定性相比，具有测试时间短、测量精度高、可高效率批量进行冷热循环处理与测量的优点。