基于纳米探针测试分析的物理失效性分析方法

本发明提供了一种基于纳米探针测试分析的物理失效性分析方法，适用于场效应管，包括：进行两遍纳米探针测试，每遍纳米探针测试包括两组或以上组的测试组；第一遍纳米探针测试中，一组测试组在栅极施加零电压，其余测试组在栅极全部施加负电压或全部施加正电压；每一组测试组均在源极和基底施加零电压，在漏极施加扫描电压；第二遍纳米探针测试中，每一组测试组均在漏极和基底施加零电压，在源极施加扫描电压，其余条件与第一遍纳米探针测试一致；根据纳米探针测试得到多组电流电压特性曲线，从而判断场效应管的漏电模式。能够快速准确地区分氧化层漏电、栅极漏电、源漏极漏电、穿通效应、沟道漏电等场效应管漏电模式，给后续物理失效性分析提供明确的方向。