一种压印模板及衍射光波导

本发明提供一种压印模板及衍射光波导，在压印模板的功能区域除结构区域之外的剩余区域内或功能区域之外的至少一个区域中设置辅助结构，并限定辅助结构在不同光栅区域的位置。当通过压印模板翻模得到工作模板时，在工作模板区域形成对应的互补结构，再通过工作模板压印光栅材料，以此来改善脱模时工作模板与压印材料之间的作用力，以改善现有的压印脱模工艺，通过将压印接触的方式由平面接触改变为不平整面接触，以改变不同脱模方式在脱模过程对不同光栅区域的光栅结构影响，提高脱模时的保形能力和保证光栅结构的完整性，降低光栅结构受损产生缺陷的情况，提高产品良率。