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具有双功能切换的GST超表面及其功能切换方法

发明专利有效
10权利要求 · 9 独立
§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

王爽; 李瑾; 何增基

IPC 分类

G02F 1/01 (2006.01)G02F 1/00 (2006.01)G02B 1/00 (2006.01)

本发明涉及一种具有双功能切换的GST超表面及其功能切换方法;GST超表面是在硅基底层上设置金属结构层;金属结构层的椭圆型通孔阵列构成两组有源单元组和一组无源单元组,有源单元组上覆盖了GST膜,无源单元组上未覆盖GST膜;有源单元组U1和无源单元组U3在同一列中呈间隔交替排列,有源单元组U2单独一列,两列相邻排列;GST超表面为相邻排列重复交替排列的矩阵;第一个功能作为超构透镜,第二个功能可生成聚焦涡旋或叠加聚焦涡旋光束。通过集成非易失性相变材料GST,基于硅的超表面器件展现出稳定的光学响应特性。此类超表面的研究为高性能太赫兹集成光子器件的开发开辟了新路径。