图像生成装置、图像生成方法以及计算机程序产品

图像生成装置生成在制作已学习完模型时所利用的图像。在示出基板的候选缺陷的对象图像中，图案部的像素值的代表值大于背景部的像素值的代表值。差异增强部生成将对象图像与参照图像的差异增强表示的差异增强图像。将对象图像的像素值为图案部的代表值且参照图像的像素值为背景部的代表值的像素位置假想为基准像素位置，将从对象图像的像素值减去参照图像的像素值而得到的差量值为小于基准像素位置处的差量值的正值的各像素位置作为关注像素位置。在差异增强图像中各关注像素位置的像素值除以基准像素位置的像素值而得到的比值，比对象图像与参照图像之间的该关注像素位置的差量值除以基准像素位置的差量值而得到的比值更接近1。