一种薄膜型NTC热敏电阻及制备方法

本发明涉及NTC热敏电阻技术领域，具体涉及一种薄膜型NTC热敏电阻及制备方法，包括步骤：清洗基底；形成绝缘层：在基底表面形成绝缘层，以隔绝基底导电性；形成粘附层：在绝缘层上形成粘附层，以增强基底的附着力；制备合金热敏薄膜：采用磁控溅射法将Mn‑Co‑Ni三元体系、Mn‑Co二元体系、Mn‑Ni二元体系或Mn‑Co‑Ni‑Al四元体系靶材溅射到粘附层上，再通过激光工艺进行图形化处理，得到合金热敏薄膜；合金热敏薄膜部分覆盖粘附层；制备电极薄膜：将含有银、金、铂、钛、钨及其合金的一种或几种金属材料，通过溅射工艺在合金热敏薄膜上形成相对设置的电极薄膜，再通过激光工艺在电极薄膜蚀刻出形成弯折或弧形图形的、将合金热敏薄膜裸露的电极图案。