一种反铁电-顺电叠层储能电容器及其制备方法

本发明提供一种反铁电‑顺电叠层储能电容器及其制备方法，制备方法至少包括：S1：于基板上沉积底电极层；S2：通过脉冲激光沉积工艺沉积第一介电层，第一介电层材料为顺电介质材料；S3：通过脉冲激光沉积工艺沉积第二介电层，第二介电层至少依次包括反铁电介质层和顺电介质层，反铁电介质层材料为反铁电材料，顺电介质层材料为顺电介质材料；S4：多次重复步骤S3；S5：沉积顶电极层。本发明的制备方法，通过分层的形式形成反铁电‑顺电叠层薄膜，构建反铁电介质层和顺电介质层循环交替沉积成型的结构，解决反铁电层和顺介电层间直接的界面平整度，提高层间非极性/反极性界面区的性能，减少缺陷产生，使得其储能电容器的储能密度升高，提升效率。