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离子泵放电气室以及离子泵新结构

发明专利有效
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§ Ⅰ

卷宗概要

发明人

王岩; 王鹏飞; 刘俊标; 韩立

IPC 分类

H01J 27/04 (2006.01)H01J 27/02 (2006.01)

本申请公开了一种离子泵放电气室以及离子泵新结构,涉及真空器件技术领域,离子泵放电气室,包括:阴极板与负极供电端连接,阳极筒与正极供电端连接,按照预设方向施加磁场;阴极板和阳极筒组成多个气室,气室结构为多边形,多个气室相邻以使各气室间无间隙。解决相关技术中内部放电不稳定,引发电流突变、漏电流和异常放电的问题。