一种纳米级放大式驱动器及其大负载压电纳米定位台

本发明涉及精密定位台技术领域，公开了一种纳米级放大式驱动器及其大负载压电纳米定位台。纳米级放大式驱动器包括放大体、压电陶瓷和导向板。放大体包括依次连接的第一连接板、底板和第二连接板。压电陶瓷的两端分别与移动端、固定端连接。导向板的一端与第一连接板的顶面连接。导向板的另一端设为自由端，并设于第二连接板上。导向板的自由端设有输出端。放大体利用杠杆原理将压电陶瓷的位移放大后经输出端输出。纳米级放大式驱动器具有运动耦合小、重复定位精准度高、分辨率高、负载大的特点。本发明的大负载压电纳米定位台采用多个纳米级放大式驱动器的并联结构，实现了X、Y、θz三自由度的超精密运动，适用于静态定位和动态调姿。