一种体声波谐振器及其制备方法

本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种体声波谐振器及其制备方法，该谐振器包括：由下至上依次连接的第一衬底、包覆式结构膜层、底电极、压电层和顶电极，包覆式结构膜层上设有声反射镜，底电极内设有温补层，底电极、压电层和顶电极的温度系数均与温补层的温度系数正负相反；该谐振器能够有效抑制了由底电极、压电层和顶电极产生的谐振频率漂移。