一种等离子反应腔

本发明公开了一种等离子反应腔，旨在解决反应腔散热以及反应腔顶盖粉尘堆积的问题。该等离子反应腔包括：反应腔、工艺气体管道、刮刀气缸和刮刀。刮刀气缸为旋转气缸，设置于顶盖上，其输出轴带动刮刀紧贴顶盖内侧旋转清灰。反应腔底部设置有冷却水入口。工艺气体从进气口进入到反应腔内进行处理后，从工艺气体管道排出，冷却水从入口进入对反应腔降温后，同样从工艺气体管道排出。使得冷却水在降温的同时，还能够携带走刮刀刮下的粉尘，并持续冲刷工艺气体管道内壁，有效防止堵塞。