一种硒化铅双波段光导型红外探测器及其制备方法

本发明公开了一种硒化铅双波段光导型红外探测器的制备方法，包括如下步骤：1）用分子束外延/脉冲激光沉积的生长方法在衬底上制备硒化铅薄膜；2）在硒化铅薄膜的表面光刻单点像元；3）在像元两端溅射电极；4）在没有电极的硒化铅薄膜的表面旋涂沉积量子点硒化镉薄膜。本发明通过引入CdSe量子点并采用复合制备工艺，不仅对原有PbSe光导探测从结构上进行了改进，实现了异质结构中PbSe与CdSe材料的高质量集成，还提升了器件界面品质与载流子寿命。通过MBE加旋涂的组合工艺，PbSe/CdSe异质结界面形成稳定，响应波段从中红外拓展至可见光，提高了器件整体的响应速度。