一种双面poly结构的Topcon太阳能电池制备方法

本发明公开了一种双面poly结构的Topcon太阳能电池制备方法，涉及光伏电池制造技术领域，包括：选取N型硅片并抛光；使用LPCVD设备沉积二氧化硅隧穿层和本征硅；进行硼扩散；采用氢氟酸去除BSG层；使用ALD设备在正背两面沉积氧化铝层；在有P型多晶硅的一面镀制氮化硅层；进行碱制绒使无氮化硅层面形成金字塔结构；使用LPCVD设备沉积二氧化硅隧穿层和本征硅；进行磷扩散；进行RCA去绕镀处理；使用PECVD设备在正面沉积氮化硅钝化层；进行丝网印刷，再烧结炉固化，得到最终电池。本发明中背面p‑poly层能够实现较好半接触性能，n‑poly层在正面绒面结构中具有较好表面钝化能力，有效抑制表面复合损失，该电池结构能够有效降低接触电阻，提升电极填充因子和光电转换效率。