散热发电一体化器件结构、制备方法及芯片结构

本发明提供一种散热发电一体化器件结构、制备方法及芯片结构，通过在柔性衬底上依次形成底层电极、热电层及顶层电极，热电层上预留的两个热电单元输出端之间通过底层电极及顶层电极形成串联回路，从而形成柔性薄膜阵列热电结构。制备方法采用微型化单元设计的柔性薄膜阵列结构有效减少了体积浪费。柔性衬底的使用解决了刚性电极在弯曲、热膨胀不均匀时容易发生断裂的问题，增强了器件的耐用性和稳定性。该散热发电一体化器件结构的热电层材料能够吸收热量并耗散，并能够利用材料本身的热电性能将热能得以再利用实现温差发电，使用单一材料实现热管理与能量转换的双重功能，优化热电转化效率。