液处理器件及液处理方法

本申请提供了一种液处理器件及液处理方法，涉及半导体制造技术领域。包括底板、杯体、喷液组件、驱动机构；驱动机构包括摆臂、第一驱动器和第二驱动器，第一驱动器设置在底板上，第二驱动器与第一驱动器连接，摆臂的一端与第二驱动器的旋转轴连接，摆臂的另一端为夹持端，第一驱动器用和第二驱动器用于带动摆臂旋转和升降；多个杯体均匀环绕于旋转轴，每个杯体的中心与旋转轴的距离与摆臂的长度相等，杯体用于固定并承载晶圆；喷液组件位于相邻杯体之间，包括多个喷嘴，喷嘴到旋转轴的距离与摆臂长度相等，用于被夹持端夹持并转移至杯体上方对晶圆喷涂液体。本申请能够节省空间占用、减少成本消耗、控制难度低且动作效率高、提高产能。