一种高精度气浮平移台及其控制方法

本发明涉及半导体高精度检测及加工的技术领域，尤其涉及一种高精度气浮平移台及其控制方法；花岗岩承载基座上以气浮方式滑动安装有Y轴移动气浮平台，Y轴移动气浮平台上以气浮方式滑动安装有X轴移动气浮平台，且Y轴移动气浮平台与X轴移动气浮平台的运动方向互相垂直设置；第三移动平台模块通过柔性结构柔性连接在X轴移动气浮平台的X移动基座上的结构，达到系统能够在线检测并利用差动运动直接补偿晶圆的角度误差和机械导向面的安装误差，并且实现了晶圆载物台精密的主动调平与动态实时聚焦，还消除了线缆应力并避免了颗粒污染，实现了极高的动态运动精度、优异的重复定位稳定性、对工作环境卓越的适应性、操作便捷性与维护经济性的效果。