一种侧立式晶圆上料装置及固晶机

本发明公开了一种侧立式晶圆上料装置及固晶机，侧立式晶圆上料装置包括顶针组件、晶圆环保持组件和转接组件，所述晶圆环保持组件包括竖直设置的晶圆环保持座、晶圆底座和晶圆环旋转驱动件，所述晶圆环保持座用于安装晶圆环，所述晶圆环保持座转动连接于晶圆底座上；所述顶针组件包括顶针、顶针X轴模组和顶针YZ轴平台，所述顶针X轴模组用于驱使顶针沿X轴方向靠近/远离所述晶圆环保持座，以顶起安装在所述晶圆环保持座上的晶圆环中的晶片；所述转接组件包括转接臂和转接旋转模组，所述转接臂的末端设置有吸嘴。本发明中晶圆环为竖直放置，晶圆的电极面可以背离顶针，这样可以防止顶针将晶片的电极顶坏的情况。