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具有用于添加多个掺杂剂批次的掺杂剂馈送器的拉锭设备
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
吴俊升; 黄宏辉; 曾贤达; 林政宜; 蔡丰键; 吴雨樵; B·M·迈耶; Y·G·郑; 张哲铭; 卡瑞喜玛·玛莉·哈德森
IPC 分类
C30B 15/04 (2006.01)C30B 29/06 (2006.01)
公开一种用于产生掺杂单晶硅锭的拉锭设备。所述拉锭设备包含掺杂剂馈送器,其具有用于保持第一批掺杂剂的第一掺杂剂容器及用于保持第二批掺杂剂的第二掺杂剂容器。旋转机构旋转所述第一掺杂剂容器以将所述第一批掺杂剂释放到坩埚中且旋转所述第二掺杂剂容器以将所述第二批掺杂剂释放到所述坩埚中。