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用于最小化热应变的掩模版设计
发明专利有效
15权利要求 · 3 独立
§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
L·L·贝克; 克塞尼亚·谢尔盖夫纳·马卡伦科; N·R·芬尼; J·C·G·范德尔桑登; J·梅尔菲二世; M·A·范德柯克霍夫; D·A·迪恩; M·利普森; J·拉德梅克
IPC 分类
G03F 1/50 (2006.01)G03F 7/00 (2006.01)
一种用于减小掩模版中的热应变的方法，包括：确定掩模版在所述掩模版的使用期间的目标操作温度；基于所述掩模版的所述目标操作温度来调整所述掩模版的热膨胀（TE）性质；以及将所述掩模版曝光于辐射以执行制造过程。