一种用于硅片的脱插清洗一体机

本发明涉及硅片清洗的领域，公开了一种用于硅片的脱插清洗一体机，包括机箱和清洗筒，所述机箱上面中间固定穿过清洗筒，所述清洗筒内设置扰流结构，所述机箱上面后沿中间紧固有L形板，所述L形板顶端通过切换结构设置两组存放条，每个所述存放条一端均设置卡位结构，所述机箱上面右侧开设第一凹槽，通过切换结构设置两组存放条，当其中一组存放条在清洗时，可在另一组存放条上存放下一批待清洗的硅片，当其中一组硅片清洗结束，从清洗筒内移出的同时，配合切换结构自动带动另一组硅片插进清洗筒内，对在清洗后硅片插片的同时，清洗筒内继续进行着硅片的清洗工作，充分利用了工作时间，提高对硅片的清洗工作效率。