一种基于阵列化喷头和轮廓检测的曲面共形电喷雾方法及系统

本发明属于电喷雾沉积技术领域，并具体公开了一种基于阵列化喷头和轮廓检测的曲面共形电喷雾方法及系统，其包括：阵列化电喷雾喷头打印时，每个喷头前端独立的提取电极辅助控制各喷头喷射状态；扫描曲面基板，获取曲面基板的三维轮廓点云，并根据曲面基板的三维轮廓点云设置各提取电极电压，以在曲面基板上形成厚度均匀的沉积膜。本发明克服了传统电喷雾沉积依赖基板导电性和曲率受限的缺点，具有高通用性、厚度均匀性好和工艺兼容性强的优势，适用于柔性电子、传感器、光电器件等领域。