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一种自动化半导体晶锭入水箱控制方法及装置
发明专利有效
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§ Ⅰ
卷宗概要
发明人
刘明; 林毅伟; 李丽丽
IPC 分类
B65G 37/00 (2006.01)B65G 43/08 (2006.01)B65G 47/90 (2006.01)B65G 47/53 (2006.01)B65G 47/248 (2006.01)B66F 7/16 (2006.01)
本申请实施例提供一种自动化半导体晶锭入水箱控制方法及装置,涉及半导体晶锭加工辅助设备技术领域,其包括机架,机架上设有举升移植装置,举升移植装置一侧设有翻转定位装置,另一侧设有第一输送装置,翻转定位装置另一侧设有U型输送组,举升移植装置包括举升机构,举升机构设置在第一输送装置末端,举升机构上方设有横移机构,翻转定位装置包括翻转工作架,翻转工作架上设有升降装置,升降装置上设有翻转驱动件,翻转驱动件上设有翻转工作台,翻转工作台上设有定位工装,翻转驱动件为伺服电机。本申请具有作业稳定和避免晶锭磕碰损伤的效果。