一种基于蠕动电机的无回差气浮升降机构

本发明涉及蠕动电机、气浮导轨、高精密运动台领域，具体涉及一种基于蠕动电机的无回差气浮升降机构，包括升降台面、气浮导轨、蠕动电机和水平运动箱。本发明中斜向气浮面与气浮支撑面配合，在提供支撑力的同时，还具备将水平驱动转化成垂直驱动的功能，解决大部分垂向气浮导轨需要重力平衡装置、进而导致精度降低的问题；在没有电源供给或突然断电的情况下，压电陶瓷可以迅速恢复到初始状态，所控制的钳位机构A和钳位机构B仅依靠预紧力便可抱死在导轨上，使升降台面能够滞留在当前位置，起到断电保护的功能。电机与水平运动箱刚性链接，消除运动间隙和回差，可以实现纳米级重复定位精度。